Цена:
Производитель:
 
Производители
 

4200-SCS Источник питания постоянного тока

Система измерения параметров полупроводников KEITHLEY 4200-SCS
Нажмите, чтобы увеличить
Цена: Цена по запросу Запросить цену
Наличие: Под заказ
Производитель: Keithley Instruments

Система измерения параметров полупроводников KEITHLEY 4200-SCS
 
Система KEITHLEY 4200-SCS - универсальная система для измерений I-V (вольт-амперных характеристик -ВАХ) и С-V (вольт-фарадных характеристик) на постоянном токе и в импульсном режиме для полупроводниковых приборов и тестовых структур на пластине в полупроводниковом производстве.
 
Система имеет модульную многоканальную архитектуру и настраиваемую конфигурацию, поддерживая до 9 измерительных и дополнительных модулей.
 
Обеспечивает:
  • Измерение ВАХ в диапазоне токов 0,1 фА до 1 А и напряжения от 1 мкВ до 210 В 
  • Измерение C-V в диапазоне до 400 В с разрешением 5 мВ, в частотном диапазоне от 1 кГц до 10 МГц
  • Ультрабыстрое и импульсное тестирование с временным разрешением 10 нс
 
Основные особенности KEITHLEY 4200-SCS: 
  • Встроенный системный контроллер с процессором 2 Duo-Pentium и поддержкой монитора высокого разрешения
  • Шасси поддерживает до 9 измерительных модулей одновременно 
  • Опционально предусилитель малых токов для модулей средней и высокой мощности 
  • Измерение вольт-фарадных (C-V) характеристик с дифференциальным смещением ±60 В и в диапазоне частот от 1 кГц до 10 МГц, а также в квазистатическом режиме  и ультраникочастотную CV-метрию  
  • Опциональное измерение высоковольтных Вольт-фарадных (С-V) характеристик в диапазоне дифференциального напряжения до 400 В 
  • Интерактивная интуитивно понятная пользовательская среда тестирования (КITE) позволяет быстро решать задачи по управлению процессом измерения и тестирования 
  • Библиотека до 450 стандартных тестов  
 
Рабочая станция на базе Windows XP 
  • Процессор Pentium Core 2 Duo 6400 
  • Память - 2 Гб 
  • Жесткий диск -500 Гб SATA HDD 
  • DVD/CD-RW
  • Встроенный 12-дюймовый дисплей с выходом на внешний SVGA Монитор 
  • Порты LAN, GPIB, USB, RS-232, Parallel Printer Port
 
Система измерения параметров полупроводников KEITHLEY 4200-SCS - это комплекс аппаратных и программных средств
 
 




Похожие товары:
Нет рекомендуемых товаров.
Нет дополнительных изображений.
Измерительные модули для KEITHLEY 4200-SCS
Измерительные модули предназначены для снятия ВАХ на постоянном токе. Они устанавливаются в слоты базового блока системы 4200-SCS. На одно шасси 4200- SCS возможно установить до 9 измерительных модулей 4210-SMU или 4200-SMU
 
Модули средней мощности 4200-SMU
  • 7 токовых диапазонов для генерации и измерения : 
    от 100 нА (полная шкала) до 100 мA (полная шкала). 
    Разрешение: 
    от 100 фA до 100 нA – в режиме измерения  
    от 5 пA до 5 мкА - в режиме генерации
  • 4 вольтовых диапазона для генерации и измерения 
    от 200 мВ до 200 В 
    Разрешение: 
    от 1 мкВ до 200 мкВ - в режиме измерения  
    от 5 мкВ до 5 мВ - в режиме генерации 
    Максимальное выходное напряжение 
    21 В при токе 100 мА 
    210 В при токе 10 мА
  • Опциональный токовый предусилитель (4200-PA) расширяет токовые диапазоны дополнительно: 
    Диапазоны : 1 пА, 10 пА, 100 пА, 1 нА, 10 нА
 
Модули большой мощности 4210-SMU
  • 9 токовых диапазонов для генерации и измерения : 
    от 100 нА (полная шкала) до 1 A (полная шкала). 
    Разрешение: 
    от 100 фA до 1 мкA – в режиме измерения 
    от 5 пA до 50 мкА - в режиме генерации
  • 4 вольтовых диапазона для генерации и измерения 
    от 200 мВ до 200 В 
    Разрешение: 
    от 1 мкВ до 200 мкВ - в режиме измерения 
    от 5 мкВ до 5 мВ - в режиме генерации 
    Максимальное выходное напряжение 
    21 В при токе 1 А 
    210 В при токе 10 мА
  • Опциональный токовый предусилитель (4200-PA) расширяет токовые диапазоны дополнительно: 
    Диапазоны : 1 пА, 10 пА, 100 пА, 1 нА, 10 нА
 
Токовый предусилитель 4200-PA 
Расширяет токовые диапазоны дополнительно:  
1 пА, 10 пА, 100 пА, 1 нА, 10 нА
 

 

Диапазон тока
Макс.напряжение
 Разрешение 
(измерение)
Точность 
измерения  
±(% от шкалы + А)
Разрешение 
(генерация)
Точность 
генерации  
±(% от шкалы + А)
4210-SMU
1 А
21 В
1 мкА
0,100% + 200 мкА
50 мкА
0,100% + 300 мкА
100 мА
210 В
100 нА
0,045% + 3 мкА
5 мкА
0,050% + 15 мкА
4200-SMU и 4210-SMU
100 мА
21 В
100 нА
0,045% + 3 мкА
5 мкА
0,050% + 15 мкА
10 мА
210 В
10 нА
0,037% + 300 нА
500 нА
0,042% + 1,5 мкА
1 мА
210 В
1 нА
0,035% + 30 нА
50 нА
0,040% + 150 нА
100 мкА
210 В
100 пА
0,033% + 3 нА
5 нА
0,038% + 15 нА
10 мкА
210 В
10 пА
0,050% + 600 пА
500 пА
0,060% + 1,5 нА
1 мкА
210 В
1 пА
0,050% + 100 пА
50 пА
0,060% + 200 пА
100 нА
210 В
100 фА
0,050% + 30 пА
5 пА
0,050% + 30 пА
4200-SMU и 4210-SMU 
с опцией  4200-PA
10 нА
210 В
10 фА
0,050% + 1 пА
500 фА
0,060% + 3 пА
1 нА 
210 В
3 фА
0,050% + 100 фА
50 фА
0,060% + 300 фА
100 пА
210 В
1 фА
0,100% + 30 фА
15 фА
0,100% + 80 фА
10 пА
210 В
0,3 фА
0,050% + 15 фА
5 фА
0,500% + 50 фА
1 пА
210 В
100 нА
1,000% + 30 фА
1,5 фА
1,000% + 40 фА
 

 

Диапазон 
напряжения
Максимальный 
ток
Разрешение 
измерения
Точность 
измерения 
±(% от шкалы + А)
Разрешение 
(генерация)
Точность 
генерации 
±(% от шкалы + А)
4200-SMU
4210-SMU
200 В
10,5 мА 
105 мА
200 мкВ
0,015% + 3 мВ
5 мВ
0,02% + 15 мВ
20 В
105 мА
1,05 мА
20 мкВ
0,01% + 1 мВ
500 мкВ
0,02% + 1,5 мВ
2 В
105 мА
1,05 мА
2 мкВ
0,012% + 150 мкВ
50 мкВ
0,02% + 300 мкВ
200 мВ
105 мА
1,05 мА
1 мкВ
0,012% + 100 мкВ
5 мкВ
0,02% + 150 мкВ
 
Интегрированный модуль заземления:
  • Выходной разъем: двойной триаксиальный, тройной клемник
  • Максимальный ток 2,6 А при двойном триаксиальном подключении или 4,4 А через тройной клемник
  • Нагрузочная емкость – не ограничена
  • Сопротивление кабеля: силового – менее 1 Ом
  • Сенсорного - менее 10 Ом.
 
 Измерение CV (вольт-фарадных) характеристик С-V измерения в системе 4200- SCS осуществляются с помощью:
  • встраиваемой опции CV-метрии 4210-CVU 
  • опции расширения для проведения мощной CV-метрии 4200-CVU-POWER
  • квазистатическим методом CV-метрии при помощи модулей  4200-SMU или 4210-SMU 
    с опцией  4200-PA
  • новым патентованным методом ультранизкочастотной CV-метрии (10 мГц...10 Гц) при помощи модулей  4200-SMU или 4210-SMU с опцией  4200-PA
 
Опция CV-метрии 4210-CVU может быть установлена в систему которая уже эксплуатируется или заказана при первоначальной комплектации системы.
Встроенный C-V модуль обеспечивает C-V измерения с параметрами: 
  • частотный диапазон от 1 кГц до 10 МГц 
    наилучшее разрешение тестового сигнала 1 кГц 
    выходной уровень 10 мВ...100 мВ
  • диапазоны измерения: 1пФ/10 пФ/100 пФ/1 нФ/10 нФ/100 нФ/1 мкФ (зависит от частоты тестового сигнала)
  • внутренний источник постоянного смещения в диапазоне ±30 В (60 В диф.) 
    разрешение 1 мВ  
    максимальный ток 10 мА
  • режим свипирования 
    параметры свипирования: постоянное смещение, частота, переменное напряжение 
    закон: линейный,пользовательский 
    количество точек: 4096 
  • Измеряемые параметры: Cp-G, Cp-D, Cs-Rs, Cs-D, R-jX, Z-Theta
  
Высокоскоростная цифровая архитектура позволяет строить графики С-V в режиме реального времени.
4210-CVU содержит широкий набор образцов программ, библиотек тестов и примеров экстракции параметров: 
  • Стандартная C-V метрия: для обычных МОП-транзитовов, диодов и конденсаторов
  • MOScap: Измерение C-V на МОП-конденсаторах
  • MOSFET: Измерение C-V на МОП-транзисторах
  • Время жизни: Определение скорости генерации и время жизни носителей, (график Зебрста) для МОП-конденсаторов 
  • Мобильные ионы: Определение подвижного заряда с помощью измерений на разных темепературах
  • Емкость: Снятие характеристик как C-V так и C-f (от частоты) на МИМ (металл –изолятор –металл) конденсаторах
  • PNjunction: Измерение емкости p n перехода или диода Шоттки как функции приложенного постоянного смещения
  • Photo Voltaic cell: Измерение как прямой так и обратной характеристики ячеек солнечных батарей cell
  • BJT: Измерение емкости (при нулевом смещении) между выводами биполярного транзистора (База-эммитер, База-коллектор, Эммитер-коллектор)
  • I-V/C-V с переподключением: Демонстрация с использованием измерительных модулей SMUs, опции CVU, и переключательных матриц and 707A/708A в одном проекте 
  • Емкость межсоединений: Измерение C-V малой межконтактной емкости на подложке
  • Нанопроволоки: Проведение C-V измерений на двухвыводном приборе на базе нанопроволоки
  • Flash: Проведение C-V измерений на типичном приборе памяти на базе плавающего затвора
 
Опция расширения для проведения мощной CV-метрии 4200-CVU-Power
  • Диапазоны измерения от 1 пФ до 1 нФ
  • Тестовый сигнал от 100 кГц до 10 МГц (10 мВ...100 мВ)
  • Источник постоянного смещения ±200 В (400 В диф.) с разрешением 5 мВ
  • Максимальный ток 100 мА (для 4200-SMU)  или 300мА (для 4210-SMU)
  • Измеряемые параметры: Cp-Gp, DCV, временные метки
 
4200-CVU-Power применяется для тестирования:
  • мощные устройства
  • дисплеи
  • LDMOS
  • устройства памяти
 
Квазистатический способ CV-метрии
  • Два модуля  4200-SMU или 4210-SMU с опцией  4200-PA
  • Низкий уровень шумов благодаря уникальному методу Ramp Rate
  • Поддержка постоянного смещения ±200 В
  • Библиотеки тестов с KTEI
Применяется для тестирования:
  • CMOS малой мощности
  • некоторые типы дисплеев (индикаторов)
  • различные устройства с низким током утечки
 
Ультранизкочастотная CV-метрия
  • Два модуля  4200-SMU или 4210-SMU с опцией  4200-PA (частота 10 мГц...10 Гц)
  • Сверхнизкий уровень шумов 
  • Диапазон измерения от 1 пФ до 10 нФ
  • Экстракция:Cp-Gp, Cp-D, Cs-Rs, Cs-D, R-jX, Z-Theta, DCV, частота, временные метки
Применяется для тестирования:
  • CMOS
  • органическая электроника (OLED, OFET, OPVC)
  • устройства памяти
  • тонкопленочные транзисторы (TFT)
 
Ультрабыстрое тестирование
В системе 4200-SCS доступно два вида генераторов импульсов:
  • Генератор импульсов типа 4220-PGU 
  • Модуль ультрабыстрого тестирования 4225-PMU
 
Обе модели поддерживают:
  • Два выходных канала 
  • Стандартный (2-уровневый) импульс 
  • Segment Arb 
  • Формирование сигнала произвольной формы 
  • Каждый выходной сигнал имеет два диапазона выхода:  
    10 В (высокий импеданс; 5 В с 50 Ω)  
    40 В (высокий импеданс; 20 В с 50 Ω)
 
Модель 4220-PGU является только двуканальным генератором импульсов напряжения.
 
Модуль ультрабыстрого тестирования 4225-PMU выполняет:
импульсное тестирование: генерация импульса/измерение (аналогично работе измерительных модулей)
переходная ВАХ: захват формы; интегрированные измерения тока и напряжения во времени
импульсный генератор :двух и мультиуровневый импульс; генерация сигналов произвольной формы; генерация пользовательской формы сигнала из сегментов Segment ARB
 
Для работы с малыми токами используются модули предусилителей/коммутаторов 4225-RPM
 
Амплитудные хараткеристики генератора 4225-PMU и 4220-PGU

 

Параметр
Импеданс
Диапазон 10 В
Диапазон 40 В
Амплитуда на выходе
50 Ом - 1 МОм
-10 В...+ 10 В
-40 В...+40 В
50 Ом -  50 Ом
-5 В...+ 5 В
-20 В...+ 20 В
Точность
±(0,5% + 10 мВ)
±(0,2% + 20 мВ)
Разрешение
50 Ом - 1 МОм
< 250 мкВ
< 750 мкВ
50 Ом -  50 Ом
< 0,5 мВ
< 1,5 мВ
Уровень шума, скз (типичное)
±(0,3% + 1 мВ)
±(0,1% + 5 мВ)
Выходной импеданс
50 Ом
50 Ом
 
Временные и частотные хараткеристики генератора 4225-PMU и 4220-PGU

 

Параметр
Диапазон 10 В 
(только генерация)
Диапазон 10 В 
(с измерением)
Диапазон 40 В 
(только генерация)
Диапазон 40 В 
(с измерением)
Частотный диапазон
1 Гц...50 МГц
1 Гц...8,3 МГц
1 Гц...10 МГц
1 Гц...3,5 МГц
Временное разрешение
10 нс
10 нс
10 нс
10 нс
Джиттер, скз (типичное)
0,01% + 200 пс
0,01% + 200 пс
0,01% + 200 пс
0,01% + 200 пс
Период
20 нс...1с
120 нс...1с
100 нс...1с
280 нс...1с
Длительность импульса
10 нс...(период - 10 нс) 
60 нс...(период - 10 нс) 
50 нс...(период - 10 нс) 
140 нс...(период - 10 нс) 
Программируемое 
время перехода
10 нс...33 мс
20 нс...33 мс
30 нс...33 мс
100 нс...33 мс
 
Измерение тока (4225-PMU)

 

Параметр
Диапазон 10 В
Диапазон 40 В 
Диапазон измерения тока
10 мА
200 мА
100 мкА
10 мА 
800 мА
Точность
±(0,25% + 100 мкА)
±(0,25% + 250 мкА)
±(0,25% + 1 мкА)
±(0,5% + 100 мкА)
±(0,25% + 3 мА)
Шум
15 мкА
50 мкА
75 нА
5 мкА
200 мкА
 
Измерение тока (4225-RPM)

 

Параметр
Диапазон 10 В
Диапазон измерения тока
100 нА
1 мкА
10 мкА
100 мкА
1 мА
10 мА
Точность
±(0,5% + 1 нА)
±(0,5% + 1 нА)
±(0,5% + 30 нА)
±(0,5% + 100 нА)
±(0,5% + 1 мкА)
±(0,5% + 10 мкА)
Шум
200 нА
2 нА
5 нА
50 нА
300 нА
1,5 мкА
 
Измерение напряжения (4225-PMU и 4225-RPM)

 

±10 В 
4225-PMU
±40 В 
4225-PMU
±10 В 
4225-RPM
Точность
±(0,25% + 10 мВ)
±(0,25% + 40 мВ)
±(0,25% + 10 мВ)
 
Для ультрабыстрого тестирования NBTI/PBTI полупроводников рекомендуется опция 4200-BTI-A. Это идеальное средство автоматического тестирования не только на уровне подложки, но и при использовании кассет. 
 
Опция  4200-BTI-A включает в себя:
  • один модуль ультрабыстрого тестирования 4225-PMU
  • два модуля предусилителей/коммутаторов 4225-RPM 
  • програмное обеспечение для автоматического тестирования (ASC)
  • тесты для ультрабыстрого BTI тестирования
  • комплект кабелей